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PEEK在電子半導(dǎo)體、光伏、液晶光電行業(yè)的應(yīng)用

發(fā)布日期:2021-10-22 內(nèi)容來(lái)源于:http:///

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SEMICON China作為中國(guó)重要的半導(dǎo)體行業(yè)盛事之一,囊括當(dāng)今世界上半導(dǎo)體制造領(lǐng)域主要的設(shè)備及材料廠商。PEEK高性能特種工程塑料是當(dāng)今市場(chǎng)上公認(rèn)的具有優(yōu)異綜合性能的可熔融加工的聚合物新材料,具有耐高溫(長(zhǎng)期可耐受260℃)、耐腐蝕、耐水解、自潤(rùn)滑、耐磨損、高強(qiáng)度、高純度、高精度、尺寸穩(wěn)定等特性優(yōu)點(diǎn)。

upe滾輪,軟質(zhì)包膠滾輪,除靜電滾輪


隨著晶圓尺寸和集成電路密度的增大,upe滾輪也隨著電子半導(dǎo)體工業(yè)制造環(huán)境要求及對(duì)污染源靈敏度的提高,使用PEEK高性能特種工程塑料已成為一條非常必要且行之有效的解決很多技術(shù)難題的保證措施。



君華特塑開(kāi)發(fā)的PEEK (聚醚醚酮)聚合物及其復(fù)合材料高性能塑料零件已廣泛地應(yīng)用于電子半導(dǎo)體、光伏及液晶光電工業(yè)的很多環(huán)節(jié)。



PEEK晶片夾



PEEK聚合物是一種高性能的熱塑性塑料,晶圓加持工具PEEK晶片夾,用于手持式檢查晶圓的工具。PEEK不含鹵族元素,不會(huì)污染半導(dǎo)體晶圓。其優(yōu)異的綜合性能經(jīng)過(guò)專門(mén)設(shè)計(jì)可以滿足電子半導(dǎo)體行業(yè)日益提高的要求。



PEEK研磨環(huán)、選鍍環(huán)


PEEK應(yīng)用于化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)。CMP需要嚴(yán)格的規(guī)定公差和高質(zhì)量的表面形狀和平面,upe滾輪對(duì)于這一用應(yīng)用,PEEK擁有一系列獨(dú)特的小性能,如優(yōu)異的尺寸穩(wěn)定性;易于機(jī)加工;良好的機(jī)械性能;良好的耐化學(xué)腐蝕性;良好的耐磨性。




PEEK吸筆頭、吸筆桿


PEEK吸筆頭及吸筆桿用于2- 12英寸半導(dǎo)體晶圓片或者LED外延片。除了耐受高溫、低摩擦、電氣性能優(yōu)異以外,其便捷的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)通過(guò)手動(dòng)真空吸筆,拾取電子零件及小產(chǎn)品特別方便、簡(jiǎn)單,其體積小,但是吸力強(qiáng),移動(dòng)快速輕便,不會(huì)污染產(chǎn)品表面。PEEK吸筆頭可以瞬間加溫300攝氏度,持續(xù)加溫250攝氏度,純度高,不含有鹵族元素,對(duì)半導(dǎo)體材料無(wú)污染,可以升級(jí)為防靜電PEEK制作。



PEEK支撐線



PEEK支撐線在玻璃基板卡匣內(nèi),其所擁有耐磨損,upe滾輪高表面硬度,可大幅減少出塵量;超高純度與低釋氣性,可避免污染,從而提高工藝制作良率;耐化學(xué)性,可承受大部分的化學(xué)物質(zhì),用于工藝制作設(shè)備的關(guān)鍵性零件可以延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命并減少設(shè)備的維修需求。




PEEK真空無(wú)痕吸盤(pán)


在半導(dǎo)體行業(yè),為了達(dá)到高功能化、低成本,要求制造技術(shù)更先進(jìn),低粉塵、低氣體放出、低離子溶出、低吸水性是對(duì)半導(dǎo)體制造工藝中各種設(shè)備材質(zhì)的特殊要求,PEEK具備較高的尺寸穩(wěn)定性、良好的機(jī)械性能、良好的耐化學(xué)腐蝕性,能夠經(jīng)受大多數(shù)化學(xué)制品的腐蝕,這將是PEEK樹(shù)脂大顯身手的地方。



PEEK晶片載具、梳齒


PEEK晶片載具;加熱和制冷過(guò)程的溫度變化以及化學(xué)處理過(guò)程會(huì)引起晶圓載具尺寸發(fā)生變化,從而導(dǎo)致晶片擦傷或者破裂。PEEK晶片載具具有更高的尺寸穩(wěn)定性;表面更耐磨,從而產(chǎn)生的顆粒更少;能在溫度的持續(xù)變化中保持穩(wěn)定的物理性能。


PEEK梳齒零件用于倒片機(jī)、上下料機(jī)設(shè)備。PEEK梳齒相比與陶瓷梳齒,具有易加工、韌性好等特點(diǎn),同時(shí)價(jià)格只有陶瓷梳齒的1/3左右。



PEEK芯片測(cè)試及其他零件



PEEK用于芯片測(cè)試:PEEK材料具有優(yōu)異的耐高溫特性,尺寸穩(wěn)定性、低釋氣性、低顆粒脫落、耐化學(xué)腐蝕、加工靈活等特性。PEEK無(wú)可比擬地兼具了高性能及易于加工的特性,因此后端測(cè)試OEM能夠通過(guò)更高的成型量、更堅(jiān)固的部件、更薄的壁厚及無(wú)鉛焊接加工方案來(lái)提升效率。測(cè)試領(lǐng)域產(chǎn)品包括高溫矩陣盤(pán)、檢測(cè)插槽、柔性電路基板、預(yù)燒測(cè)試槽和連接器等。



PEEK螺絲、螺母


PEEK螺絲用于制絨清洗設(shè)備,PEEK螺絲耐腐蝕,在較寬的范圍內(nèi)保持對(duì)各種化學(xué)品的極佳耐受性;PEEK耐高溫,長(zhǎng)期使用溫度為260℃,短期可達(dá)300℃;PEEK螺絲可以采用注射成型工藝一次性完成,加工成本低。



PEEK耐磨滾輪


PEEK耐磨滾輪擁有優(yōu)良的耐磨損性、高表面硬度,upe滾輪可大幅減少發(fā)塵量。高耐熱性、超高純度、低析出物與低釋氣性,可避免污染。良好的電氣絕緣性,低噪音。耐化學(xué)腐蝕性,可承受大部分的化學(xué)腐蝕性物質(zhì),減少設(shè)備的維修要求。



PI隔塊、吸筆頭及其他零件


PI聚酰亞胺耐高溫、耐腐蝕、耐輻射、抗生銹,擁有良好的電氣絕緣性,良好的耐磨性,優(yōu)異抗蠕變或塑性變形性,真空氣體釋放量少:因其具有高純度特性,所以發(fā)生向外排氣的幾率非常低。


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